附录B
（资料性附录）
芯片式传感器数字化车间功能安全风险等级与可能性

B.1 风险等级

芯片式传感器数字化车间功能安全风险等级如表 B.1 所示。

表 B.1 风险等级

注①：本标准主要针对 1 或 2 人暴露在风险中的情况，如果有 3 个或更多人暴露于风险中的情形，应该考虑更严 格的风险等级划分。

注②：虽然设备或设施并非一个安全风险，但它对于制造的产品（如：晶圆、掩模）附加了价值。本处没有给出 具体的说明是由于产品的价值和数量可能随着设备不同而变化。可能的说明是单个晶圆、一批晶圆重做，或是一批晶圆损失。

B.2 可能性分组

芯片式传感器数字化车间功能安全风险发生的可能性分组如表 B.2 所示。

表 B.2 可能性分组

注①：发生频率的计算公式为“观察到或预期发生伤害的次数/（可观察或可预期的发生伤害的操作次数×年） ×100%”。例如，假设在 6 年内可观察到的 5 次操作中，观察到发生了 1 次伤害，则伤害发生的频率为 “1 次伤害/（5 次操作×6 年）×100%= 3.3%”，属于 A—频繁的。

B.3 风险等级-可能性矩阵

芯片式传感器数字化车间功能安全风险等级-可能性矩阵如表 B.3 所示。

表 B.3 风险等级-可能性矩阵